壓力變送器

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新型壓力變送器提高了真空沉积应用中的稳定性和速度

作時間:2019-08-03  來源:  作者:
   
大多数传统的真空沉积工具使用壓力變送器来维持真空室中的气体压力。节流阀设置可能花费数千美元。它还需要一个单好的控制模块来为阀门供电,提供PID数据和设定点功能。节流阀设置还可能在更换气体或等待腔室中的气体沉降时导致延迟。
 
使用快速作用的比例控制閥,將控制儀器放置在腔室上遊可以提供更快的響應時間和更好的穩定性。上遊方法還消除了對額外閥門,切割設備需求和設置成本的需求。Alicat儀器提供了這種替代方案。
 
使用壓力變送器控制上游的真空水平
对于大型或OEM项目,壓力變送器(外部传感器)壓力控制器能够在安装在腔室上游时控制真空水平。当过程压力处于高真空或超高真空并需要外部壓力表时,使用该系列。壓力變送器從傳感器獲取模擬信號,並使用比例閥提供閉環控制。
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通過添加外部壓力傳感器,可以更精確地保持腔室壓力,同時還允許用戶好立于真空沈積系統整體改變或調節用過的氣體。這允許更快地施加中性氣體,改善塗層環境中的控制和穩定的壓力水平。
 
壓力變送器壓力控制器为外部真空计提供电源,并兼容所有仪表技术,包括离子,皮拉尼和冷阴极以及有源或无源仪表和组合仪表。
 
集成真空控制器(IVC)不再有節流閥體積
对于没有现有真空计的小型实验和项目,Alicat IVC就是解决方案。与壓力變送器一样,它减少了传统节流阀压力控制方法的体积,复杂性和费用。我们将真空传感器直接集成到设备中,从而可以立即控制真空室中的压力。我们的传感器能​​够以高精度到低范围运行,低至10毫托。Alicat IVC还包括直接来自设备的PID控制,以及气动隔离传感器 - 与市场上的其他解决方案相比,确保更高的精度 - 精确测量腔室和气体好立性。
 
在真空塗層應用中將壓力控制裝置放置在腔室的上遊節省了時間,成本並提高了真空沈積工具的精度。
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